HIDEN사의 Triple-Stage Mass Filter는 aggressive gas와 ionization reaction by-product에 대한 오염방지 기능을 향상시키며 5ppb까지 detection level 을 향상시킨다. 또한 다양하게 제공되는 Pole(일반적으로 6mm pole이 제공되며 Mass Range에 따라 9, 12mm까지 제공된다)의 크기로 50amu에서 1000amu까지 다양한 Mass Range를 제공한다.

Aggressive gas를 측정할 경우 일반적인 Mineral oil을 사용하는 rotary pumps 대신 Fomblinised rotary forepump 혹은 Teflon-coated membrane forepumps를 사용하며 analyzer안을 Corrosion resistant sealing을 하여 부식을 최소화 한다.
-Turbomolecular pump 안에도 gas purge system을 장착하여 rotor bearing 보호한다.

배출 Gas의 압력이 변화하는 경우 gas의 정량분석을 위해 사용되는 flow controller 로서 control valve가 실시간 자동으로 조절하여 유량을 맞추어 준다.

TA/ TGA system과 연결하는 Hot-zone sampling interface는 연결부위의 cold sopt을 제거하여 안정적인 분석이 가능하다.