HIDEN사의 Gas Analyzer인 QIC-20 시리즈는 대기압 상태에서 실시간 연속 시료 측정이 가능한 장비로써 여러 공정 시 발생하는 Gas들에 대한 monitoring 많이 사용되며 TG/TGA나 GC와 연동하여 사용하기도 한다.

	측정 가능한 압력 범위 : 2bar ~ 100mbar
	질량 분석 범위 : 50amu ~ 1000amu
	Detection Limit : 0.1 ppm(Standard), 5ppb(Optional)
	간단한 benchtop 형태의 구조이며 이동이 잦은 경우 mobile cart 제작도 가능
	측정 속도 : 300msec sampling response
	여러 종류의 질량 값에 대해 Time/intensity trend monitoring 이 가능
	72종의 NIST Spectral Libraries 제공
	Soft Ionization Mode : 이온화를 위해 가해지는 이온에너지로 보통 70eV로 사용이 된다.
Electron Energy를 software상에서 변경이 가능하며 같은 molecular weight를 가지는 경우, 이것에 변화를 줌으로서 gas의 존재유무를 확인할 수 있다.

1. HPR-20 QIC : 연구소나 실험실에서 주로 사용되며 Headspace Analysis(주변 대기로 방출되는 고체 또는 기체로부터 화학 물질의 최소 흔적량(trace level)을 감지 및 추적)나 Gas Purity 측정에 사용된다. Bypass 와 Turbomolecular Pump의 Backing 을 위해 두 개의 Rotary pump를 사용하여 H2와 He등의 light gas에 대한 측정의 정확성을 높인 제품으로 여러 종류의 Capillary 를 교체 사용 가능하고 TGA, GC와 interface가 가능하다.

2. HPR-20 QIC Plus : Fully Automated System으로 실시간 정량분석에 최적화된 System이다. 4개의 Stream Calibration Module이 장착되어 있으며 automatic calibration과 spectral overlap removal을 위해 전용 Software인 Quantal Software가 함께 제공된다.