¢ß½ÅÄÚ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ç¾÷ºÎ¿¡¼ µ¶ÀÏ FRTÞäÀÇ Multi-Sensor metrology systemÀ» ¼Ò°³ÇÕ´Ï´Ù
FRTÞä´Â Áö³ 20¿©³â°£ °èÃøÀåºñ, ±â¼ú ¸¸À» ¿¬±¸, °³¹ßÇØ¿Â ±â¾÷À¸·Î ºñ Á¢ÃË, ºñ ÆÄ±« ¹æ½ÄÀÇ Multi-sensor¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±¤¹üÀ§ ÇÏ°í ³ôÀº ¼öÁØÀÇ ÃøÁ¤À» Á¦°øÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, FRTÀÇ metrology systemÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß´Â ¹°·ÐÀ̰í MEMS, »çÆÄÀ̾î /LED, žçÀüÁö, ±â°è°øÇÐ, ÀÚµ¿Â÷»ê¾÷, ÀÇ·á»ê¾÷, ±¤ÇÐ, Æ÷Àå»ê¾÷¿¡ À̸£±â ±îÁö ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ ¹Ú¸· ¹× Ç¥¸éÀÇ Á¤º¸¸¦ ºü¸£°í Á¤È®ÇÏ°Ô ÃøÁ¤, ºÐ¼®À» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ¼ö¸¹Àº °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ ¸Â´Â ÃÖÀûÀÇ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù
Multi-sensor metrology
FRTÀÇ ´Ù¾çÇÑ 3D Ç¥¸é ÃøÁ¤ ±â¼úÀº ÀÌ¹Ì º¸ÆíÀûÀ¸·Î °ËÁõµÈ ±¤ÇÐ ¸ÖƼ¼¾¼ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿©, Á¢ÃË ¾øÀÌ »ùÇÃÀÇ ÁöÇü, »ùÇÃÀÇ µÎ²² ¶Ç´Â Çʸ§(¹Ú¸·, Èĸ·)ÀÇ µÎ²²¸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ´Ù¾çÇÑ ±¤ÇÐ ÃøÁ¤Àåºñ °³º° ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î ¸¸ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´ø ´Ù¾çÇÑ ÃøÁ¤ Àåºñ¸¦ FRTÀÇ ¸ÖƼ ¼¾¼ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ ºñ¿ë, °ø°£ Àý¾àÇü ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î ÅëÇÕÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¸ÖƼ ¼¾¼ °³³ä¿¡ ±â¹ÝÇÑ 3D Ç¥¸é ÃøÁ¤ ÀåÄ¡¿¡´Â ÁöÇü ºÐ¼® ¹× Çʸ§ µÎ²² ¼¾¼¸¦ À§ÇÑ Æ÷ÀÎÆ®, ¶óÀÎ ¼¾¼ ¹× FOV(Field of view) ¼¾¼ °¡ ÀåÂø µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ¿øÀÚ Çö¹Ì°æ (AFM: Atomic Force microscopy) ÀÌ °¢°¢ ¸ðµâÈ µÇ¾î FRT MicroProf ÇÑ ½Ã½ºÅÛ¿¡ Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. º¹ÀâÇÑ ÃøÁ¤ ÀÛ¾÷Àº °¢ ¼¾¼¿¡¼ µ¥ÀÌÅ͸¦ ¼öÁýÇÏ°í °á°ú¸¦ °áÇÕÇÏ¸ç °èÃøÀ» À§ÇØ °¢°¢ »ç¿ë µÈ °èÃø±â°¡ Àüü °èÃø ÀÛ¾÷À» ¾Ë°í ÃøÁ¤ ÀÛ¾÷À» ¿Ïº®ÇÏ°Ô ±¸Çö ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Áï, ÇÊ¿äÇÑ µ¥ÀÌÅÍ ¼öÁýÀÌ ÀÚµ¿È µÇ¾î ÀÖÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î°¡ ´Ù¸¥ °á°ú¸¦ ±â·ÏÇÏ°í ¿øÇÏ´Â ¸Å°³ º¯¼ö¸¦ °è»êÇÕ´Ï´Ù.
ÃøÁ¤ °á°ú´Â »ç¿ëÀÚÀÇ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó »ùÇÃÀÇ Àü¹ÝÀûÀÎ °æÇâÀ̳ª ƯÁ¤ ºÎºÐÀÇ ¼¼ºÎÀûÀÎ ÃøÁ¤¿¡ ´ëÇÑ °£·«ÇÑ °³¿ä¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÃøÁ¤ ¹× µ¥ÀÌÅÍ ¼öÁý, µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼® Æò°¡ÀÇ ¼öµ¿, ¿ÏÀü ÀÚµ¿¿¡ À̸£±â±îÁö ÀûÀýÇÑ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¹× Çϵå¿þ¾î ±¸¼º ¿ä¼Ò¸¦ ¼±ÅÃÇÏ¿© ÀÚµ¿È Á¤µµ¸¦ °áÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
MicroProf® 200
FRT ¸ðµ¨ Áß °¡Àå Àαâ ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛÀÎ MicroProf¢ç 200Àº °ÅÀÇ ¸ðµç Ç¥¸é(surface)°ú Ãþ(layer)¿¡ ´ëÇØ ºñ Á¢Ã˽Ä, ºñÆÄ±«ÀûÀ¸·Î µ¥ÀÌÅ͸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. °ß°íÇÑ µðÀÚÀÎÀ¸·Î ³ôÀº ½Å·Ú¼º, ¶Ù¾î³ ³»±¸¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î ¸ðµç »ê¾÷ ȯ°æ¿¡¼ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ ÀÇÇÑ ¸ÂÃãÇü ¸ÖƼ ¼¾¼ µðÀÚÀΰú ´Ù¾çÇÑ ¿É¼Çµé·Î ³ÐÀº È®À强À» Á¦°øÇÏ´Â MicroProf¢ç 200Àº ÇöÀçÀÇ ¼¼°è À¯¼öÀÇ °³¹ß, »ý»ê ¾÷ü¿¡¼ ¼öÇàÇÏ´Â ´ëºÎºÐÀÇ °èÃø ÀÛ¾÷À» ÇØ°áÇÒ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÇâÈÄ ¿ä±¸µÇ´Â ´Ù¾çÇÑ ÃøÁ¤ »çÇ׿¡ ´ëÇØ¼µµ ´ëºñÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ±×¸®°í MicroProf¢ç ÀÇ ¸ðµç ±â´ÉÀº ÀÚü ¼³°èÇÑ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î·Î °á°ú¸¦ Æò°¡Çϸç Á÷°üÀûÀÌ°í ½¬¿î Á¶ÀÛÀ¸·Î ´Ù·ê ¼ö ÀÖ¾î »ý»ê¼ºÀ» ÃÖÀûÈ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
MAIN SYSTEMS OF FRT
THE ART OF METROLOGY!!
<Àåºñ ±¸¸Å¹®ÀÇ/¼ºñ½º¹®ÀÇ>
½ÅÄÚ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ç¾÷ºÎ ( sed@scinco.com / 02-2143-8232 )