Raman ºÐ±¤¹ýÀº diamond-like carbon filmÀÇ ¹°¸®Àû ¼ºÁúÀ» °üÂûÇϴµ¥ ÀÖ¾î ÁÁÀº ±â¹ýÀÌ´Ù. ºñ·Ï RamanÀ¸·Î ¿Ïº®ÇÑ filmÀÇ Æ¯¼ºÀ» ¼³¸íÇÏÁö´Â ¸øÇÏÁö¸¸ ÇÇÅ© À§Ä¡¿Í ¹êµåÀÇ ¼¼±â(intensity) ºñÀ² »çÀÌÀÇ correlationÀº deposit µÈ filmÀÇ ¹°¸®Àû ¼ºÁúÀ» ¿¹ÃøÇÏ´Â °Í¿¡ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
½Ã·áÀÇ Àüó¸® °úÁ¤ÀÌ ¾ø°í »ùÇøµÀÌ °£´ÜÇϸç dzºÎÇÑ ÈÇÐÀû Á¤º¸ÀÇ Á¶ÇÕÀº ±ØÇÑÀÇ ¿Âµµ ¶Ç´Â Áø°ø »óŰ¡ ÇÊ¿ä ¾øÀÌ ¹°ÁúÀ» ºñÆÄ±« ºÐ¼®À» ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ´Ù.
À̹ø ÀÚ·á¿¡¼, Raman ºÐ±¤¹ýÀº plasma »óÅ¿¡ µû¶ó ´Þ¶óÁö´Â DLC filmÀ» °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. Deposition »óÅ´ filmÀÇ ¿øÀÚ ±¸Á¶¿¡ °ÇÑ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ» ¾Ë°Ô µÇ¾ú´Ù. ÀÌ ¿¬±¸·Î ´Ü´ÜÇÏ°í ºñȰ¼ºÀÎ filmÀº ³ôÀº plasma current¿Í ³ôÀº ºÎºÐ °¡½º ¾Ð·ÂÀ¸·Î ¸¸µé¾î Áø´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë°Ô µÇ¾ú´Ù.
|