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반도체분야
벌크, 에피 및 이온 증착된 Si, GaAs 웨이퍼
■ 응용분야
- 벌크, 에피 및 이온 증착된 Si, GaAs 웨이퍼 -
- 공정 조정용 웨이퍼
- 특별한 샤프 피크 구조
■ 측정 파라미터
- Carrier density vs depth data
■ 시스템 특징
- 리얼 타임 측정 (N vs X)
- 그래픽 및 칼럼 형식의 데이터 표시
- 키보드 선택 BIAS 및 DEPTH 모드
- 메뉴 화면에 시스템 파라미터 입력 가능
- 직접화된 교정 절차
- 사용이 용이한 TRAP detection feature
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