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Model LEI88
LEI
반도체분야
매뉴얼 측정 시스템
- 비접촉 방식
- 빠르고 정밀한 면저항측정이 가능
- 측정 샘플 두께: 450 to 800 microns
- 측정 코일 갭 (>/= 0.35”/0.899 mm)
- 두꺼운 샘플에 대해 출고 시 갭 조정 가능
- 코일 크기: 0.56” mm)
- 최대 측정 샘플 크기: 6” mm)
- HI range: sheet resistance 15 to 3000 ohms/sq.
- 작은 장비 사이즈: 12” x 10” mm x 250mm)
- 학교나 연구소 용으로 이상적인 설비임
- LO range: 0.2 - 15.0 ohms/sq.
- XL range: 0.1 - 1.5 ohms/sq.
- ONEAC (정전압기)
- Computer/laptop (컴퓨터 인터페이스)
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